<mxfile host="app.diagrams.net" modified="2026-06-06T00:00:00.000Z" agent="Claude" version="21.0.0">
  <diagram name="保护环终端器件工艺流程" id="process-flow">
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        <mxCell id="t" value="保护环终端器件工艺流程（离子注入方案）" style="text;html=1;align=center;fontSize=16;fontStyle=1;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s1" value="① N 型高阻 Si 衬底，RCA 标准清洗" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s2" value="② 初始氧化：湿氧 1050°C，生长 ~1 μm SiO₂" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s3" value="③ 光刻 I（掩膜版 1）保护环开窗 + BOE 刻 SiO₂" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#fff2cc;strokeColor=#d6b656;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s4" value="④ B⁺ 离子注入（保护环）：50~100 keV，~1×10¹⁴ cm⁻²" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s5" value="⑤ 退火 I：管式炉 N₂，1000°C，30 min（激活 + 驱入）" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s6" value="⑥ 光刻 II（掩膜版 2）主结开窗 + BOE 刻 SiO₂" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#fff2cc;strokeColor=#d6b656;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s7" value="⑦ B⁺ 离子注入（主结）：30~80 keV，~1×10¹⁵ cm⁻²" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s8" value="⑧ 退火 II：RTA N₂，1000°C，30 s（快速热退火）" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s9" value="⑨ PECVD 沉积 SiO₂ 钝化层：350°C，~0.5 μm" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s10" value="⑩ 光刻 III（掩膜版 3）接触孔开窗 + RIE 刻 SiO₂" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#fff2cc;strokeColor=#d6b656;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s11" value="⑪ 溅射 Al ~1 μm + 光刻 IV（掩膜版 4）金属图形化" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#fff2cc;strokeColor=#d6b656;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s12" value="⑫ PECVD Si₃N₄ + 光刻 V（掩膜版 5）PAD 开窗" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#fff2cc;strokeColor=#d6b656;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s13" value="⑬ 背面 N⁺ 注入 + 背金属 + 合金化（Forming Gas，420°C）" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#dae8fc;strokeColor=#6c8ebf;fontSize=13;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="s14" value="⑭ 中测 → 划片 → 封装 → 终测" style="rounded=1;whiteSpace=wrap;html=1;fillColor=#d5e8d4;strokeColor=#82b366;fontSize=14;fontStyle=1;" vertex="1" parent="1">
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        <mxCell id="leg" value="黄色 = 掩膜版步骤（共 5 版）" style="text;html=1;align=center;fontSize=11;fontColor=#999999;" vertex="1" parent="1">
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