Conveners
大会报告(Plenary3)
- 法制 齐 (中国科学院高能物理研究所)
立强 曹
(中国科学院微电子研究所)
,
建辉 卜
(中国科学院微电子研究所)
15/07/2024, 13:30
在核物理、粒子物理、辐射等应用背景下,粒子与其周围物质相互作用将产生电子、光子等一系列可被放大并记录的信号。通过激发与收集该信号实现成像、粒子物理量分析辨别以及分类筛选等成为核物理领域中探索微观世界的主要手段。而粒子探测器则是支撑上述实验的至关重要的部件。同时工作在空间和核辐射环境中的微电子器件受种类不同、能量不一的粒子和光子照射,将导致性能退化甚至功能失效。
本报告面向核衰变产生的光电信号探测需求,提出了一种利用三维一体探测器集成方案,集成模块涵盖薄膜探测结构、垂直互连结构及抗辐射CSOI器件。该技术基于超低本底基底材料进行多层正交探测单元图形设计与制造,提升了粒子收集效率,降低了信号噪声。提出低漏电图形垂直互连技术,形成与后端电子学器件实现立体集成的工艺方法。并在电子学器件方面开展了抗辐照技术研究。采用两次智能键合与剥离方法制备CSOI晶圆材料,该材料在两层隐埋氧化层(BOX)...
志 曾
(清华大学)
15/07/2024, 14:40
十三五国家重大科技基础设施“极深地下极低辐射本底前沿物理实验设施(简称锦屏大设施)自2018年获得国家发改委可行性批复,2020年启动建设,2023年12月具备实验组入驻条件,预计2024年底完成工程竣工和科研仪器设备安装调试等工作。本报告将介绍锦屏大设施主要工程进展,尤其是低本底控制工程方面的进展及成效,同时给出极低辐射本底谱仪研制的现状及进展,力争2024年底开始竣工验收工作。